是否接受进口

接受进口

品牌

KRi、 费勉、SPECS

型号

/KDC 40、FERMI-RFPS-200、 IQE 11/35

技术规格及参数

1、离子源类型：有栅直流离子源；
2、放电形式：灯丝阴极直流放电；
3、阴极结构：单灯丝阴极结构；
4、离子源尺寸：φ9cm x16cm长；
5、电压范围：≤1200V；
6、光学组件：自对准离子光学组件；
7、栅极尺寸：直径4cm三栅栅极；
8、栅极材质：钼材质；
9、束流形状：发散光束；
10、束流密度：标准输出>90mA at 1000eV；
11、中和器类型: 灯丝型；
12、中和器位置：置于离子源出口中央；
13、离子源安装方式：6” CF法兰安装于腔室外侧，金属密封；
14、电路和气路连接：通过穿通密封件连接于两个2.75”CF法兰；
15、电源控制器要求：集成化控制器，本地操作或远程控制界面，额定输出功率：
灯丝阴极：低频率40V，30A软启动
放电：直流最大100V，电流：13A
束流：直流，1200V，200mA
加速器：直流600V，200mA
中和器：低频率40V，25A
发射电流> 0.2A；

质保期

验收通过后1年

售后要求

免费保修期内，中标人将向采购人提供优质的售后技术支持服务，开通热线电话接受采购人的电话技术咨询， 72 小时内响应；如故障不能排除，中标人应在7个工作日内提供现场服务。